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中石科技:高导热相变材料或电磁屏蔽涂料尚未应用于光刻机领域:相变材料
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金融界3月12日消息相变材料,有投资者在互动平台向中石科技提问:ASML光刻机的光源系统(如EUV激光等离子发生器)需在极端温度下保持稳定性,公司的高导热相变材料(如导热凝胶)或电磁屏蔽涂料是否已通过
2025-05-29
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