金融界3月12日消息相变材料，有投资者在互动平台向中石科技提问：ASML光刻机的光源系统（如EUV激光等离子发生器）需在极端温度下保持稳定性，公司的高导热相变材料（如导热凝胶）或电磁屏蔽涂料是否已通过国内光刻机厂商（如上海微电子）的测试？若未参与，是否因材料纯度（如金属离子杂质含量）未达到半导体设备级标准？
公司回答表示：公司的高导热相变材料或电磁屏蔽涂料尚未应用于光刻机领域相变材料。
来源：金融界
金融界3月12日消息相变材料，有投资者在互动平台向中石科技提问：ASML光刻机的光源系统（如EUV激光等离子发生器）需在极端温度下保持稳定性，公司的高导热相变材料（如导热凝胶）或电磁屏蔽涂料是否已通过国内光刻机厂商（如上海微电子）的测试？若未参与，是否因材料纯度（如金属离子杂质含量）未达到半导体设备级标准？
公司回答表示：公司的高导热相变材料或电磁屏蔽涂料尚未应用于光刻机领域相变材料。
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