金融界2025年3月18日消息，国家知识产权局信息显示，辽宁惠康检测评价技术有限公司申请一项名为“一种无掩膜微纳结构加工装置及加工方法”的专利，公开号CN 119620556 A，申请日期为2024年12月微纳结构材料 。
专利摘要显示，本发明属于光学、显微技术、微纳结构相结合的技术领域，具体涉及一种无掩膜微纳结构加工装置及加工方法，装置包括近紫外光源、第一准直透镜、数字微镜阵列、二次缩放组件和物镜；第一准直透镜设置在近紫外光源的光发出点前方，数字微镜阵列设置在第一准直透镜的出射光光路上，数字微镜阵列按照内部预设的微纳结构数字掩膜信息调控入射光形成具有目标图案的出射光二次缩放组件设置在数字微镜阵列的出射光光路上，物镜设置在二次缩放组件的出射光光路上，物镜的出射光照射在待加工微纳结构的基底上微纳结构材料 。本发明在加工方法中使用特定的可光固化预聚合物，简化了传统的DMPL无掩膜光刻技术流程，降低了成本，提高了加工精度和稳定性。
天眼查资料显示，辽宁惠康检测评价技术有限公司，成立于2015年，位于沈阳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业微纳结构材料 。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，辽宁惠康检测评价技术有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1056次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息9条，此外企业还拥有行政许可10个。
来源：金融界